产品资料

硅片表面有机污染物分析仪

产品名称: 硅片表面有机污染物分析仪
产品型号: SWA256M

简单介绍

● 可对完整的硅片测量(*大可达直径30cm)。 ● 使用毛细管柱分析,可以此性测量多种有机化合物。 ● 可检测pg/cm2(硅片表面)的微量有机化合物。 ● 符合国家标准GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 ● 符合国际标准SEMIMF1982-99,SEMI MF1982-1103


硅片表面有机污染物分析仪  的详细介绍

温度范围:100 – 700°C

硅片直径:3 – 12″ (300mm)

尺寸:990 (W) × 1030 (D) × 1900 (H) mm  

接触材料:石英玻璃


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